Мы предлагаем решения в области проектирования микро электромеханических систем (МЭМС) компании Coventor Inc.
Основной функционал, возможности специализированной платформы разработки МЭМС-устройств – CoventorMP
Инновационных возможности системы CoventorMP для создания высокоточных моделей, уменьшая время моделирования до нескольких минут
Платформа CoventorMP обеспечивает важные преимущества в скорости, точности и возможностях для учитывания 3D электростатических колебаний, связанной электромеханики с эффектами контакта, изгиба и демпфирования.
Возможности системы CoventorMP позволяет проводить линейный и нелинейный анализ, а также полное исследование пьезоэлектрических устройств в в окружающей его системе и электронной схеме
Современный метод разработки МЭМС в интеграции с MathWorks и
Cadence, позволяющий моделировать МЭМС-устройства и схемы в единой среде в одном маршруте проектирования.
Четырехмассовый гироскоп (QMG) с двумя ортогональными вырожденными модами
На основе работ, опубликованных Трусовым и Шкелем [1, 2, 3] из Лаборатории микросистем Калифорнийского университета (Ирвин, Калифорния, США), в инструменте MEMS+ была спроектирована конструкция четырехмассового гироскопа (QMG) с двумя ортогональными вырожденными модами. Изображение данного гироскопа помещено на обновленную заставку инструмента MEMS+ 7.0.
QMG имеет высокий угловой коэффициент усиления, большую амплитуду возбуждения, большую модальную массу и преимущества низкого рассеяния, характерные для архитектуры камертона.
Более подробно о данном гироскопе можно прочесть в статьях авторов:
- Alexander A. Trusov, Adam R. Schofield, Andrei M. Shkel, "Micromachined rate gyroscope architecture with ultra-high quality factor and improved mode ordering," Sensors and ActuatorsA 165 (2011) 26–34.
- Sergei A. Zotov, Brenton R. Simon, Igor P. Prikhodko, Alexander A. Trusov, Andrei M. Shkel, "Quality Factor Maximization Through Dynamic Balancing of Tuning Fork Resonator", IEEE SENSORS JOURNAL, VOL. 14, NO. 8, AUGUST 2014.
- A. A. Trusov; G. Atikyan; D. M. Rozelle; A. D. Meyer; S. A. Zotov; B. R. Simon; A. M. Shkel, "Flat Is Not Dead: Current and Future Performance of Si-MEMS Quad Mass Gyro (QMG) System," 2014 IEEE/ION Position, Location and Navigation Symposium - PLANS 2014.”
- I.P. Prikhodko, S.A. Zotov, A.A. Trusov, and A.M. Shkel, “Sub-degree-per-hour silicon MEMS rate sensor with 1 million Q-factor”, 2011 IEEE/Transducers’11, Beijing, China, June 5-9, 2011 2809-2812.
