Универсальный программно-аппаратный комплекс позволяет производить измерения на пластине по постоянному току, в ВЧ и СВЧ диапазонах и, в конечном итоге, получить полную модель электронного устройства. Комплекс также используется для верификации проектов на промежуточных этапах разработки.
Расширение возможностей комплекса:
- Увеличение частотного диапазона с помощью блоков расширения для PNA-X и соответствующих RF-пробников до 500 ГГц;
- Включение дополнительных опций в PNA-X для импульсных измерений, измерений X-параметров, компрессии усиления, интермодуляционных и гармонических искажений;
- Маршрутизация сигналов на задней панели PNA-X с помощью механических переключателей добавляет возможность подключения оборудования преобразования сигнала, например: фильтры, усилители и дополнительные приборы для расширения набора измерений;
- Тестирование готовых систем на пластине с помощью проб-карт.
Задачи комплекса характеризации:
- Характеризация полупроводниковых приборов по постоянному току, измерение вольт-амперных (ВАХ) и вольт-фарадных (ВФХ) характеристик, мониторинг технологических параметров
- Характеризация полупроводниковых приборов в ВЧ и СВЧ диапазоне, измерение S-параметров, коэффициента усиления, коэффициента шума, согласования по входу и выходу
- Экстракция параметров для создания модели полупроводникового прибора, контроля за технологическим процессом, создание библиотеки моделей для выбранного технологического процесса