MEMS+ – специализированный программный продукт, предназначенный для проектирования МЭМС. Конечные элементы заданной формы с адаптированным разбиением сетки из библиотеки MEMS+, на основе которых проектируются модели, учитывают геометрию МЭМC-устройства, в  том числе углы боковых стенок, многослойность, перфорации, гребенчатые структуры. Конструкция может быть также создана из  файла GDS или SAT.

На  показана конструкция 3-осевого гироскопа, спроектированная с  использованием библиотеки MEMS+.

Моделирование созданной конструкции возможно как во  встроенном симуляторе MEMS+, так и  в  системе математического моделирования MATLAB Simulink (MathWorks) или на платформе разработки аналоговых интегральных схем Virtuoso (Cadence Design Systems). Эти системы интегрированы с  MEMS+, что делает модель мультидоменной и обеспечивает общую платформу и эффективную методологию для разработчиков МЭМС и ИС с МЭМС-структурами.

Модели можно передавать и  в  другие среды проектирования с  помощью встроенного экспорта в  формат Verilog или в  формат моделей сокращенного порядка (ROM) с  уменьшенным количеством степеней свободы и без учета нелинейной физики. Данные модели используются для импорта сложных геометрических структур и позволяют сократить время моделирования в сотни раз.

При анализе модели учитываются различные физические эффекты, используемые в МЭМС, в том числе из таких областей, как механика, электростатика, демпфирование, пьезофизика. Система позволяет выполнять моделирование переходных процессов, а  также температурных режимов с учетом термомеханических эффектов. Возможно также проведение исследований влияния деформации корпуса и  подложки на  характеристики МЭМС-устройств.

После завершения имитационного моделирования доступна визуализация результата в  2D- или 3D-формате, которая дает возможность увидеть конструкцию в движении.

Библиотека компонентов в  инструменте MEMS+ позволяет создавать индивидуальную библиотеку пользователя, адаптированную к  конкретному процессу, и  сохранять ее в  формате mpdk. Этот файл и  содержащиеся в нем компоненты доступны только для чтения и могут быть защищены паролем.

MEMS+ используется для моделирования различных типов МЭМС-устройств. Инструмент прост в применении и  освоении новыми пользователями. В  программном пакете есть набор примеров готовых проектов, созданных в MEMS+: гироскопы, акселерометры, переключатели, микрофоны, магнитометры, сканирующие зеркала. Примеры можно использовать при создании собственных устройств для ускорения работы.