Ручные 150мм зондовые станции Cascade Microtech оптимальны по цене и, в тоже время позволяют выполнять точные и достоверные измерения на пластинах диаметром до 150мм, отдельных чипах и печатных платах. Основой семейства является универсальная зондовая система MPS150, которая гарантирует гибкость применения и подходит для всего спектра современных измерений: снятие вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик, измерения в диапазонах частот до 1 ТГц, тестирование MEMS и LED, характеризация компонентов, зондирование внутри кристаллов, тестирование оптоэлектроники и многое другое. Также Cascade Microtech предлагает линейку станций EPS150 - это готовые решения для различных измерительных задач.
- MPS150.
Аналитическая зондовая система MPS150 предназначена для малого по стоимости и, вместе с тем, точного анализа субстратов размером до 150 мм (6''). Высокая гибкость применения гарантирована для MPS150, что позволяет использовать систему для широкого круга задач: снятие вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик, измерения в диапазонах частот до 1 ТГц, тестирование MEMS и LED, характеризация компонентов, зондирование внутри кристаллов, тестирование оптоэлектроники и многое другое. Как исключительный инструмент для анализа отказов MPS150 может быть использована в качестве настраиваемой проб-карты, обеспечивая до 16 позиционеров на рабочем столе одновременно. Эта зондовая система легко дорабатывается под различные задачи в «полевых» условиях.
- EPS150RF.
Зондовая система EPS150RF спроектирована как эффективная система для высокоточного измерения S-параметров. Система включает RF-зонды до 67 ГГц, программное обеспечение для калибровки WinCal XE и калибровочные образцы ISS/CSR. Это обеспечивает точность и повторяемость тестов.
- EPS150mmW.
EPS150MMW — готовое решение, которое включает все необходимое для достижения точных результатов измерений в самое короткое время и с максимальной достоверностью. Система объединяет лучшие из известных методов зондовых измерений на частотах вплоть до 1 ТГц.
- EPS150TRIAX/EPS150COAX.
Зондовая системы EPS150TRIAX и EPS150COAX спроектированы как эффективные решения для точных измерений DC: I-V и C-V. Полностью укомплектованные зондовые станции позволяют измерять токи на уровне pA (EPS150COAX) и fA (EPS150TRIAX).
- EPS150FA.
EPS150FA — готовая система для анализа отказов, позволяет производить проверку наличия отказов, их локализацию и исправление на объектах размером менее 1 мкм.
- EPS150TESLA.
EPS150TESLA — готовое решение для измерения мощных изделий на уровне пластин. Система позволяет тестировать структуры MOSFET, IGBT, BJT и другие при напряжениях вплоть до 3000 В (triaxial) /10 000 В (coaxial) и токах до 100 A.