CoventorWare – набор интегрированных средств для моделирования и проектирования МЭМС. Твердотельные модели создаются на основе топологии и описания процесса или импортируются из MEMS+.

В редакторе технологического процесса определяется последовательность шагов процесса, то  есть фактически создается «рецепт», который нужно реализовать, чтобы построить твердотельную модель. В  состав модели входят свойства материалов, которые используются при проведении имитационного моделирования.

На базе 2D-модели и описания процесса автоматически генерируется 3D-модель, на  которую можно наложить сетку конечных элементов.

Сетка генерируется в препроцессоре, где можно рассмотреть модель в разрезе, выбрать различные типы конечных элементов (блочный элемент, элемент «оболочка» или «тетраэдр», элемент поверхности). Доступен также запрос для проверки качества всех элементов. Сетка анализируется в ядре решателя конечных элементов. Решатели работают как в линейном, так и в нелинейном режиме, с поддержкой нескольких процессоров через графических интерфейс или скрипт.

В CoventorWare используется гибридный метод конечных / граничных элементов (МКЭ / МГЭ), который позволяет избежать проблем с точностью и эффективностью. Набор решающих программ CoventorWare обеспечивает быстрое физическое моделирование и позволяет выполнять следующие виды анализов:

• модальный анализ;
• квазистатическая сопряженная электромеханика (притяжение, отталкивание, электростатический изгиб пружины);
• гармонический анализ;
• алгоритм быстрой развертки по  частоте для пьезоэлектрических BAW-резонаторов;
• газовое демпфирование для любой трехмерной геометрии;
• рассеяние энергии за счет термоупругого демпфирования и потерь в анкере;
• анализ чувствительности пьезорезистивных датчиков;
• детальный анализ напряжений.

Кроме того, в CoventorWare предусмотрен учет связанных областей физических явлений, которые позволяют, например, смоделировать движение переключателя в  результате смещения напряжения. В пакете есть множество специфических для МЭМС функций для моделирования и имитации широкого спектра МЭМС-устройств, включая инерционные датчики (акселерометры и гироскопы), микрофоны, резонаторы и исполнительные механизмы.

Внешний интерфейс CoventorWare интегрирован с набором программных решателей Coventor, но может также использоваться в качестве автономного внешнего интерфейса для сторонних инструментов, таких как ANSYS.