Переходим к рассмотрению новых примеров гироскопов. Начнем с Z-осевой Гироскопа. Рассматриваем конструкцию гироскопа на основе исследований, проведенных в Университете Британской Колумбии. Модель построена в MEMS+ с использованием конечных элементов высокого порядка, включая балки, упругие пластинчатые сегменты и гребенчатые зубцы. Гироскоп приводится в действие в направлении оси X. Движение вокруг оси Z вызывает движение по оси Y, которое измеряется с помощью чувствительных гребней. Эта конструкция основана на процессе MEMSCAP SOIMUMPS, подробнее об этом технологическом процессе читайте в следующих постах.

Моды при частотах: 8; 8,3; 10,8; 12,7 кГц. #примерыУстройств