
Платформа CoventorMP для проектирования МЭМС позволяют проводить 3D-моделирование методом конечных элементов (МКЭ) и анализировать эффекты из различных областей физики (механика, электростатика, жидкостное демпфирование и т.д.).
САПР CoventorMP представляет собой автоматизированную платформу для проектирования и моделирования МЭМС, которая обеспечивает возможность анализа физических процессов и геометрии этих устройств.
Платформа в целом позволяет проектировать устройства от схемы до топологии, включая разработку систем на основе МЭМС с использованием библиотеки материалов и процессов.
Интегрированная среда проектирования CoventorMP включает в себя два программных инструмента:
- MEMS+ – для проектирования МЭМС-устройств с помощью стандартных блоков из библиотеки элементов заданной формы с адаптированным под геометрию МЭМС-устройств разбиением сетки (получаемая параметрическая модель может быть интегрирована в системы и схемы);
- CoventorWare – для проектирования и моделирования МЭМС-устройств со стандартным автоматическим разбиением геометрии адаптивной сеткой (созданные модели не параметризованы и обычно требуют больших вычислительных ресурсов).
Инструменты MEMS+ и CoventorWare используют единую среду моделирования методом конечных элементов и поведенческие модели, но решают разные задачи.
Благодаря созданию моделей из элементов заданной формы из библиотеки MEMS+ обеспечиваются простота разработки конечных устройств (разработчик оперирует готовыми блоками) и скорость моделирования. Система проста в изучении и применении.
Использование параметрических моделей МЭМС позволяет повысить скорость автоматизированного анализа конструкции по сравнению с традиционным методом конечных элементов, а также оптимизировать конструкцию в процессе проектирования. Такой подход позволяет создавать в MEMS+ не только МЭМС-устройства, но и системы на основе МЭМС. Для решения этих задач в MEMS+ предусмотрена возможность интеграции с системой математического моделирования MATLAB Simulink (MathWorks) или средой разработки аналоговых интегральных схем Virtuoso (Cadence Design Systems).
CoventorWare, в отличие от MEMS+, основан на стандартном подходе к проектированию МЭМС-устройств и обеспечивает разработку устройства в ручном режиме. Модель может быть создана в режиме 3D или на базе GDS-топологии и описания технологического процесса.
CoventorWare включает в себя набор алгоритмов построения сетки для генерации шестнадцатеричных ячеек, которые являются оптимальными для МЭМС-структур, обеспечивают более точный анализ в областях с высоким напряжением и для геометрий с высоким соотношением сторон, типичных для МЭМС.
Совместное использование инструментов позволяет экспортировать модели, включая свойства материалов, из MEMS+ в CoventorWare и наоборот, проводить расширенное исследование характеристик, например концентрации потенциала, создавать более точные структурные модели для MEMS+, использовать MEMS+ в качестве параметрического интерфейса для CoventorWare.