В данной статье демонстрируется использование набора инструментов системы CoventorMP для повышения показателей надежности, эффективности изготовления и эксплуатационных характеристик микроэлектромеханических систем.

На рисунке 1 представлен наш набор инструментов системы CoventorMP, которые используются на разных этапах маршрута проектирования. Как пример, используется гироскоп компании Мурата.

Рисунок 1. Маршрут проектирования МЭМС в системе CoventorMP

Начать проектирование можyj с топологии, или же построить модель с помощью конечных МЭМС элементов, а затем смоделировать устройство и исследовать частотные или переходные характеристики конструкции.

Далее можно использовать модель непосредственно в продуктах Mathworks или CADENCE для моделирования системы и схемы, включая корпус.

У нас есть несколько подробных примеров (рисунки 2-4). В системе CoventorMP можно мгновенно провести моделирование устройства, как только модель построена.  На рисунке 2 (слева внизу) видно, как меняется вся структура гироскопа.

Рисунок 2. Повышение надежности, качества изготовления и эффективности работы с помощью CoventorMP

Также мы можем исследовать как будет вести себя устройство в корпусе, и как изменение температуры повлияет на характеристики всей конструкции.

В CoventorMP есть возможность провести и технологический анализ, в котором квадратура и частоты прогнозируются с изменением процесса травления (рисунок 3).

Рисунок 3. Оптимизация конструкции и процесса, выход годных и статистический анализ перед изготовлением

Также есть пример анализа ударного воздействия на систему и схему управления, включая контактные силы. При прикладывании ударного ускорения к конструкции, смотрим, как реагирует система.

На рисунке 4 (справа внизу) отображено, что происходит, когда две поверхности контактируют. Результат отображен на верхних графиках.

Рисунок 4. Анализ надежности устройства при отказах, ударах, повреждениях и других воздействиях.

Более подробную информацию о возможностях системы CoventorMP и инструментах MEMS+ и CoventorWare вы можете найти в наших информационных ресурсах, или написать нам в чат технической поддержки в Телеграм или на электронную почту coventor@scanru.ru.