Рассмотрим пример следующего устройства. Гребенчатый актюатор с предварительным напряжением. Примером актюатора МЭМС является Гребенчатый актюатор с предварительным напряжением. В папке \\Examples\PrestressedCombDriveActuator расположены файлы MEMS+ (каталог устройств) для моделирования подключения с помощью MEMS+ Simulator и файл базы данных CoventorWare для верификации устройств с помощью традиционного метода конечных элементов (МКЭ). Для минимизации времени моделирования используется симметричная модель, которая показана ниже. Обратите внимание, что моделирование CoventorWare занимает много времени и зависит от ресурсов вашего компьютера; моделирование заняло около пяти часов на компьютере с Windows 10 с двумя процессорами с тактовой частотой 2,9 ГГц и 32 ГБ оперативной памяти.

Моды при частотах: 11,7; 71,3 кГц #примерыУстройств