В статье мы рассмотрим возможности и преимущества использования инструмента MATLAB для проектирования МЭМС-устройств.
Согласно схеме интеграции инструментов для разработки МЭМС в одном маршруте проектирования (рисунок 1), после создания модели в инструменте MEMS+, мы можем использовать скрипты MATLAB для проведения моделирования и анализа конструкции, или же с помощью скриптов построить модель из GDS файла или автоматически через интерфейс MEMS+ без ручной сборки.

Рисунок 1. Интеграция MEMS+ с продуктами MathWorks
Интеграция с MATLAB (рисунок 2) позволяет делать очень быстрые расчеты проекта, с помощью созданных скриптов искать компромиссы в геометрической конструкции. Мы можем запустить скрипт MATLAB, который используя файлы модели акселерометра, с помощью циклов for позволит изменить параметры, конструкторские решения, создавать и настраивать анализы или использовать постобработку.

Рисунок 2. Использование MATLAB для проектирования МЭМС
MATLAB предоставляет множество фантастических возможностей для постобработки, а также преимущества математического анализа и использования скриптов.
А в дополнение к этому есть всевозможные мощные инструменты оптимизации и статистического анализа, которые можно использовать (рисунок 3).

Рисунок 3. Анализ и визуализация данных в MATLAB
Получив данные в MATLAB, вы можете анализировать и визуализировать их различными способами. Вы можете анализировать, предварительно обрабатывать и управлять своими данными. Например, вычисляя статистику, чтобы понять ее распределение, или используя аппроксимацию кривой, чтобы выявить лежащий в основе процесс. Для выполнения этих задач вы используете быстрые и точные предварительно созданные математические и инженерные функции.
Инструменты визуализации данных включают встроенные функции построения 2D- и 3D-графиков и построения диаграмм, позволяющие быстро проанализировать данные, например, взаимосвязь между результатами, переменными и параметрами при моделировании.
Существуют также интерактивные инструменты для анализа данных, где можно опробовать идеи, изменить алгоритмы, а затем повторить расчеты, чтобы быстро прийти к готовому решению.
Если вы проводите какие-либо виды тестирования или анализа, в итоге, у вас возникнет необходимость поделиться своими результатами (рисунок 4). В основном это будет происходить вне MATLAB.

Рисунок 4. Совместное использование результатов из MATLAB
Вы также можете импортировать и экспортировать стандартные или пользовательские файлы.
Есть также несколько продуктов, которые расширяют возможности совместного использования вашей работы за пределы основных возможностей MATLAB.
Database Toolbox позволяет MATLAB обмениваться данными с ODBC и JDBC-совместимыми базами данных, а генератор отчетов встраивает вашу работу MATLAB в документы HTML, Word или PDF. Все эти возможности можно интегрировать прямо в ваше приложение для тестирования и измерения.