В данной статье мы рассмотрим инструмент MEMS+ компании Coventor (Lam Research).

MEMS+ - это среда Coventor для унифицированного трехмерного проектирования и моделирования МЭМС и интегральных схем. В инструменте доступна новаторская функция – Wizard (Мастер), которую мы и рассмотрим. 

Wizard (Мастер) – это уникальный инструмент, который обеспечивает правильную настройку МЭМС-конструкции для моделирования в любом из решателей, с которыми MEMS+ может взаимодействовать, например, плагины симулятора, а также сторонние решатели, такие как CADENCE Specter и MATLAB Simulink.

Wizard (Мастер) устраняет необходимость вручную соединять смежные компоненты вместе и автоматизирует задачу вычисления коэффициентов масштабирования модели и назначения граничных условий одним щелчком мыши.

Далее мы продемонстрируем возможности Мастера, используя учебную модель высокочастотного микроэлектромеханического переключателя в инструменте MEMS+.

После построения моделей, состоящих из нескольких компонентов, смежные компоненты должны быть соответствующим образом соединены вместе, чтобы обеспечить согласованное механическое, электрическое и жидкостное определение по всему устройству для моделирования и анализа. 

Мы выделяем анкер, контактную площадку, разделительную балку и компоненты концевой балки, которые используются для создания радиочастотного переключателя.

При переходе из режима просмотра компонентов в режим механического просмотра следует отметить, что все механические разъемы отсоединены друг от друга, о чем свидетельствует их оранжевый цвет.

В режиме электрического просмотра мы обращаем внимание на единственный электрический разъем, который был заземлен вручную, он отображается серым цветом. Все остальные электрические разъемы отображаются оранжевым цветом.  Характеристика отсоединенных электрических разъемов видна в модели.

Теперь перейдем, в режим жидкостных разъемов. Мы видим, что все жидкостные контакты отсоединены, о чем снова свидетельствует их оранжевый цвет.

В данной статье мы рассмотрели предназначение функции Wizard для построения модели и анализа. Более подробная информация доступна в наших информационных ресурсах.