МЭМС-актуаторы не работают изолированно; они выполняют свои задачи в условиях системы, включающей электронную схему. Таким образом, перед изготовлением вся система должна быть смоделирована и настроена. Для достижения этой цели инженеры-конструкторы традиционно строят модели сокращенного порядка (ROM), основанные на аналитических выражениях или извлеченные из моделирования МКЭ. Проблема с таким подходом имеет двоякий характер. Во-первых, построение моделей сокращенного порядка может занять очень много времени. Во-вторых, что более важно, используемые аналитические уравнения сильно упрощены, а созданные модели сокращенного порядка не включают нелинейные эффекты. В совокупности этот традиционный подход оказывает большое влияние на разработчиков ИС и систем и может увеличить вероятность дорогостоящих доработок на поздних этапах цикла разработки.

Инструмент MEMS+ компании Coventor разработан специально для решения этой задачи. Параметрическая модель, включающая нелинейное поведение механического МЭМС-актуатора, создается и запускается в Mathworks Simulink или Cadence Spectre. Разработчики систем могут оценить все характеристики устройства, включая интегральную схему. Они также могут моделировать массив МЭМС-устройств, используя этот подход. Для управления линейностью и проведения анализа чувствительности можно параметрически изменять параметры устройства и системы. Разработчики также могут моделировать силу и смещение актуатора, а также ток/напряжение актуатора и даже видеть движение актуатора в трехмерном отображении.

Рисунок 1: Схема расположения 4-контактных НЭМС-реле, созданная с помощью добавления моделей MEMS+ в схему Cadence