МЭМС-актуаторы имеют большое количество вариантов механизмов приведения в действие

Исполнительные механизмы МЭМС-актуаторы — это устройства, которые преобразуют электрическую энергию в механическое движение, и они составляют более 50% быстрорастущего МЭМС рынка. Они используются в различных оптических, радиочастотных и промышленных областях применения. Примерами таких устройств являются переменные конденсаторы (варакторы), микропереключатели для маломощных СБИС, оптические фазовращатели, дисплеи нового поколения, микрозахваты для роботизированной хирургии и механизмы фокусировки для камер в мобильных устройствах.

Задачи проектирования

Инженеры-конструкторы сталкиваются с необходимостью сокращения сроков выхода на рынок готовых МЭМС-устройств и снижения затрат на их изготовление. Эти требования заставляют изменить традиционную практику разработки собственных инструментов и сократить количество повторяющихся циклов сборки и тестирования. Основной задачей разработчиков МЭМС-актуаторов является создание устройства, отвечающего критериям эффективности по силе, перемещению, времени переключения, мощности, размеру, температурной стабильности и надежности. Чтобы добиться успеха, разработчики должны правильно учитывать трехмерное электростатическое колебание, а также связанную электромеханику с эффектами контакта, изгиба и газового демпфирования.

Платформа проектирования МЭМС компании Coventor обеспечивает важные преимущества в скорости, точности и возможностях для решения этих задач. Платформа способствует повышению продуктивности работы команды, позволяя одновременно исследовать несколько областей проектирования. Можно проводить быстрые и параллельные исследования на уровне устройств, одновременно оптимизируя схемы управления и исследуя влияние изменений процесса и/или материалов.

Интегрированная платформа Coventor применяется для проектирования электростатического гребенчатого актуатора