
Последнее поколение радиочастотных МЭМС-переключателей – это в основном емкостные устройства. Емкостные переключатели работают с использованием емкостной связи и хорошо подходят для высокочастотных радиочастотных приложений. Во время работы к балке, подвешенной как мост через подложку, прикладывается сила. Когда балка тянется вниз под действием силы (например, электростатической силы), балка контактирует с диэлектриком на подложке, и сигнал прекращается. Поперечное сечение емкостного переключателя «мостового» типа показано на рисунке 1, а трехмерная модель CoventorMP® емкостного радиочастотного МЭМС-переключателя в недеформированном состоянии показана на рисунке 2.

Рисунок 1: Емкостной РЧ МЭМС-переключатель мостового типа (предоставлен [1])

Рисунок 2: Модель CoventorMP® мостового радиочастотного переключателя в недеформированном, "поднятом" состоянии
Заключение
Благодаря своей механической природе, радиочастотные МЭМС-переключатели имеют ряд преимуществ перед существующими технологиями, включая очень низкое сопротивление в закрытом состоянии и очень высокое сопротивление в открытом состоянии. Радиочастотные МЭМС-переключатели обладают такими преимуществами, как небольшой размер, низкое энергопотребление, быстрое время переключения, низкие потери сигнала, высокая изоляция в выключенном состоянии, возможности интеграции в масштабе схемы и другие. Радиочастотные МЭМС-переключатели на частотах в диапазоне десятков ГГц будут широко использоваться в будущих телекоммуникационных системах, таких как мобильная сотовая связь 5G, особенно по мере того, как новые производственные процессы и материалы становятся более доступными. РЧ МЭМС устройства, включая РЧ МЭМС переключатели, будут переживать резкий рост как часть следующего поколения 5G и других телекоммуникационных систем.
Использованная литература:
- https://www.coventor.com/blog/rf-mems-switches-understanding-their-operation-advantages-and-future/
- Kurmendra, Dr; Kumar, R., “A review on RF micro-electro-mechanical-systems (MEMS) switch for radio frequency applications”. Microsystem Technology (2020).
- Cao, T.; Hu, T.; Zhao, Y., “Research Status and Development Trend of MEMS Switches: A Review”. Micromachines 2020, 11, 694.
- Yole Développement, “Status of the MEMS Industry 2019”
- RF Switches Information