Coventor
Системы автоматизированного проектирования МЭМС Coventor

Мы предлагаем решения в области проектирования микро электромеханических систем (МЭМС) компании Coventor Inc.

Изображение недоступно
Coventor
Современные решения для
моделирования и проектирования МЭМС в среде CoventorMP

Основной функционал, возможности специализированной платформы разработки МЭМС-устройств – CoventorMP

Изображение недоступно
Coventor
Проектирование и моделирование РЧ МЭМС-переключателей и переменных конденсаторов

Инновационных возможности системы CoventorMP для создания высокоточных моделей, уменьшая время моделирования до нескольких минут

Изображение недоступно
Coventor
Проектирование, моделирование и верификация МЭМС-актуаторов

Платформа CoventorMP обеспечивает важные преимущества в скорости, точности и возможностях для учитывания 3D электростатических колебаний, связанной электромеханики с эффектами контакта, изгиба и демпфирования.

Изображение недоступно
previous arrow
next arrow

Емкостные радиочастотные МЭМС-переключатели, их преимущества и перспективы

Последнее поколение радиочастотных МЭМС-переключателей – это в основном емкостные устройства. Емкостные переключатели работают с использованием емкостной связи и хорошо подходят для высокочастотных радиочастотных приложений. Во время работы к балке, подвешенной как мост через подложку, прикладывается сила. Когда балка тянется вниз под действием силы (например, электростатической силы), балка контактирует с диэлектриком на подложке, и сигнал прекращается.   Поперечное сечение емкостного переключателя «мостового» типа показано на рисунке 1, а трехмерная модель CoventorMP® емкостного радиочастотного МЭМС-переключателя в недеформированном состоянии показана на рисунке 2.

Рисунок 1: Емкостной РЧ МЭМС-переключатель мостового типа (предоставлен [1])

Рисунок 2: Модель CoventorMP® мостового радиочастотного переключателя в недеформированном, "поднятом" состоянии

Заключение

Благодаря своей механической природе, радиочастотные МЭМС-переключатели имеют ряд преимуществ перед существующими технологиями, включая очень низкое сопротивление в закрытом состоянии и очень высокое сопротивление в открытом состоянии. Радиочастотные МЭМС-переключатели обладают такими преимуществами, как небольшой размер, низкое энергопотребление, быстрое время переключения, низкие потери сигнала, высокая изоляция в выключенном состоянии, возможности интеграции в масштабе схемы и другие. Радиочастотные МЭМС-переключатели на частотах в диапазоне десятков ГГц будут широко использоваться в будущих телекоммуникационных системах, таких как мобильная сотовая связь 5G, особенно по мере того, как новые производственные процессы и материалы становятся более доступными. РЧ МЭМС устройства, включая РЧ МЭМС переключатели, будут переживать резкий рост как часть следующего поколения 5G и других телекоммуникационных систем.

Использованная литература:

  1. https://www.coventor.com/blog/rf-mems-switches-understanding-their-operation-advantages-and-future/
  2. Kurmendra, Dr; Kumar, R., “A review on RF micro-electro-mechanical-systems (MEMS) switch for radio frequency applications”. Microsystem Technology (2020).
  3. Cao, T.; Hu, T.; Zhao, Y., “Research Status and Development Trend of MEMS Switches: A Review”. Micromachines 2020, 11, 694.
  4. Yole Développement, “Status of the MEMS Industry 2019”
  5. RF Switches Information