Мы предлагаем решения в области проектирования микро электромеханических систем (МЭМС) компании Coventor Inc.
Coventor Мы предлагаем решения в области проектирования микро электромеханических систем (МЭМС) компании Coventor Inc. ![]() Coventor Основной функционал, возможности специализированной платформы разработки МЭМС-устройств – CoventorMP ![]() Coventor Инновационных возможности системы CoventorMP для создания высокоточных моделей, уменьшая время моделирования до нескольких минут ![]() Coventor Платформа CoventorMP обеспечивает важные преимущества в скорости, точности и возможностях для учитывания 3D электростатических колебаний, связанной электромеханики с эффектами контакта, изгиба и демпфирования. ![]() Coventor Возможности системы CoventorMP позволяет проводить линейный и нелинейный анализ, а также полное исследование пьезоэлектрических устройств в в окружающей его системе и электронной схеме ![]() Coventor Современный метод разработки МЭМС в интеграции с MathWorks и ![]() Задачи проектирования радиочастотных МЭМС-переключателейСуществует множество перспективных применений для радиочастотных МЭМС-переключателей, включая использование в перестраиваемых фильтрах, антеннах, сенсорных приемниках и радиочастотных идентификаторах [2]. Почему так трудно разрабатывать эти устройства? Задачи и проблемы проектирования и изготовленияМЭМС-переключатели и переменные конденсаторы с электростатическим приводом используют нестабильность "притяжения" для достижения срабатывания и фиксации с низким энергопотреблением. Высокая степень нелинейности в сочетании с механическим контактом и производственными эффектами, такими как градиенты напряжения тонкой пленки, делают создание высокопроизводительной и надежной конструкции особенно сложной задачей. Следовательно, многие из этих устройств были выведены на рынок только после нескольких лет дорогостоящих циклов исследования кремния. Существует несколько проблем, которые необходимо решить при разработке радиочастотного МЭМС-переключателя. C механической точки зрения, устройство должно выдерживать миллиарды циклов срабатывания, открывая и закрывая привод высоконадежным способ. Для предотвращения прямого контакта между электродами часто используются контактные блоки. Также очень важно понимать динамическое нелинейное поведение устройства. При проектировании устройства необходимо оптимизировать замыкание, размыкание и частотный гистерезис, чтобы обеспечить соответствие конечным спецификациям продукта. Более того, переходное поведение радиочастотного МЭМС-переключателя очень чувствительно к размерам устройства и изменчивости технологического процесса, что делает эти параметры критически важными для производительности и выхода годной продукции. РЧ МЭМС-переключатели также часто используют сложные композитные материалы, такие как слои металлов и диэлектриков, которые демонстрируют индуцированные при изготовлении остаточные напряжения и градиенты напряжений. Каждый из этих факторов оказывает существенное влияние на достижение конечных характеристик устройства и соблюдение проектных спецификаций. Моделирование поведения этих нелинейных радиочастотных МЭМС-компонентов является непростой задачей. Сложная физика и переходное поведение этих устройств не могут быть точно смоделированы с помощью аналитических формул. К сожалению, также очень трудно моделировать переходные процессы открытия и закрытия этих устройств с использованием обычных объемных конечно-элементных инструментов из-за резкого изменения воздушного зазора между открытым и закрытым состояниями устройства. Любое моделирование анализа конечных элементов (МКЭ) требует сложного преобразования или повторного создания сетки при каждой итерации решателя. Статическое моделирование переключателя в инструменте МКЭ может занять много часов вычислительного времени, в то время как моделирование переходных процессов практически невозможно. Это существенно ограничивает ценность обычных инструментов конечных элементов для исследования и оптимизации конструкции. Динамическое поведение радиочастотного МЭМС-переключателя необходимо понимать, чтобы не только разработать лучший переключатель, но и спроектировать систему вокруг него. Вся система включает в себя микросхему МЭМС, управляющую электронику и интегральные схемы, радиочастотные компоненты и корпус. Оптимизация всей системы является ключом к успеху и требует реалистичной (а не идеалистичной) модели устройства и системы. Быстрое и точное моделирование этих устройств, выполненное до изготовления, может устранить многие из этих трудоемких циклов проектирования. MEMS+ и CoventorWare решают эти проблемы и вместе обеспечивают комплексную платформу для проектирования радиочастотных переключателей и варакторов. Использованная литература:
|
Решения для проектирования
Измерительное оборудование
Системы автоматизированного проектирования
IP блоки
Новости
Вычислительное оборудование
![]() |