Мы предлагаем решения в области проектирования микро электромеханических систем (МЭМС) компании Coventor Inc.
Основной функционал, возможности специализированной платформы разработки МЭМС-устройств – CoventorMP
Инновационных возможности системы CoventorMP для создания высокоточных моделей, уменьшая время моделирования до нескольких минут
Платформа CoventorMP обеспечивает важные преимущества в скорости, точности и возможностях для учитывания 3D электростатических колебаний, связанной электромеханики с эффектами контакта, изгиба и демпфирования.
Возможности системы CoventorMP позволяет проводить линейный и нелинейный анализ, а также полное исследование пьезоэлектрических устройств в в окружающей его системе и электронной схеме
Современный метод разработки МЭМС в интеграции с MathWorks и
Cadence, позволяющий моделировать МЭМС-устройства и схемы в единой среде в одном маршруте проектирования.
Радиочастотные МЭМС-переключатели: Принцип их работы, технологии и типы
Радиочастотные МЭМС-переключатели — это небольшие микромеханические переключатели, которые имеют низкое энергопотребление и могут быть изготовлены с использованием традиционной технологией изготовления МЭМС-устройств. Они похожи на выключатель света в комнате, где контакт размыкается или замыкается для проведения сигнала через выключатель. В случае радиочастотных МЭМС-устройств механические компоненты переключателя имеют размер лишь микроны. В отличие от выключателя света, сигнал, проводимый в радиочастотном МЭМС-переключателе, находится в радиочастотном диапазоне.
Технология радиочастотных переключателей
Радиочастотное переключение может выполняться с использованием ряда различных технологий. Существует два основных типа радиочастотных переключателей, конкурирующих с радиочастотными МЭМС-переключателями: электромеханические радиочастотные переключатели и твердотельные радиочастотные переключатели. В твердотельных переключателях используются полупроводниковые технологии, такие как кремниевые или PIN-диоды, FET (полевые транзисторы) и гибридные технологии (которые включают PIN и FET), и они построены с использованием кремниевых подложек. Радиочастотные МЭМС-переключатели конкурируют с постоянно совершенствующимися переключателями на основе RF-SOI (кремний на изоляторе), которые сегодня являются ведущим решением на рынке.
Существует множество типов радиочастотных МЭМС-переключателей, и они могут приводиться в действие (или переключаться) с помощью различных механизмов. Электростатическое срабатывание обычно используется в конструкциях радиочастотных МЭМС-переключателей из-за низкого энергопотребления и небольших размеров. МЭМС-переключатели также могут открываться или закрываться с помощью инерционной, электромагнитной, электротермической или пьезоэлектрической силы.
Типичный радиочастотный МЭМС-переключатель с «консольной балкой» показан на рисунках 1 и 2. В этой конфигурации фиксированная балка подвешена над подложкой. Когда балка принудительно опускается вниз, электрод на балке контактирует с электродом на подложке, переводя переключатель в состояние "включено" и замыкая цепь.
Рисунок 1: Радиочастотный МЭМС-переключатель консольного типа (предоставлен [1])
Рисунок 2: Модель радиочастотного переключателя с консольной балкой из CoventorMP®, показывающая состояния включения и выключения
Использованная литература:
- https://www.coventor.com/blog/rf-mems-switches-understanding-their-operation-advantages-and-future/
- RF Switches Information
- Kurmendra, Dr; Kumar, R., “A review on RF micro-electro-mechanical-systems (MEMS) switch for radio frequency applications”. Microsystem Technology (2020).
- Cao, T.; Hu, T.; Zhao, Y., “Research Status and Development Trend of MEMS Switches: A Review”. Micromachines 2020, 11, 694.
- Yole Développement, “Status of the MEMS Industry 2019
