Анализатор CoventorWare для детального проектирования и верификации

Верификация и детальный анализ с помощью CoventorWare

Маршрут проектирования в MEMS+ не исключает использования обычного анализа методом конечных элементов. MEMS+ может экспортировать проекты в широко используемые 2D и 3D форматы для дальнейшего анализа в других инструментах. CoventorWare может напрямую импортировать модели MEMS+ и генерировать сетку для анализа программным обеспечением CoventorWare. Затем можно провести специальное моделирование для проверки квазистатических результатов, таких как напряжение при притяжении и отталкивании, или исследовать дополнительные результаты проектирования, такие как концентрация напряжений.

Моделирование схем и систем МЭМС + ИС

Радиочастотные переключатели и варакторы часто объединяются в массивы и должны быть интегрированы с окружающей их управляющей электроникой. Совместное моделирование МЭМС-устройств с электроникой необходимо для определения общей производительности и обеспечения соответствия конечного продукта проектным спецификациям. В отличие от обычных моделей конечных элементов, модели MEMS+ можно легко включить в блок-схемы Simulink и принципиальные схемы Cadence. В отличие от моделей, созданных вручную, модели MEMS+ точно отражают сложную физику переключателей и варакторов.  Понимание этой физики крайне важно, поскольку она оказывает значительное влияние на конечную электрическую конструкцию устройства.

Генератор, управляемый напряжением, разработанный в программном обеспечении Cadence, с использованием модели варактора MEMS+ на основе конфигурации двух параллельных пластин с перестраиваемым конденсатором [2]

Комплексная платформа для разработки радиочастотных переключателей и варакторов

MEMS+ - это уникальная среда для быстрой разработки радиочастотных МЭМС-продуктов, включая омические переключатели, варакторы и связанные с ними схемы управления. Имитационные модели MEMS+ являются параметрическими и точно отражают сложную физику радиочастотных МЭМС-устройств эффективным вычисислительным способом. Такая эффективность вычислений позволяет быстро смоделировать МЭМС-конструкцию в ее схеме управления. Модели MEMS+ можно исследовать параметрически, изменяя производственные характеристики, такие как свойства материала и градиенты напряжения в тонкой пленке, а также геометрические свойства конструкции. Сложность и точность моделей MEMS+ обеспечивают совместную оптимизацию конструкции радиочастотных МЭМС и ИС для достижения оптимальной производительности и выхода годной продукции. Полевые решатели CoventorWare дополняют модели MEMS+ и могут использоваться для проверки деталей конструкции вместе с результатами модели MEMS+.

Использованная литература:

• https://www.coventor.com/mems-solutions/rf-switch-varactor/
• Mehdaoui, S. Rouvillois, G. Schröpfer, G. Lorenz, M. Kaynak, M. Wietstruck. “Residual Stress and Switching Transient Studies for BiCMOS Embedded RF MEMS Switch Using Advanced Electro-Mechanical Models.” 14th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems (MEMSWAVE 2013), Germany, July 2013.
• Jun Zou, Chang Liu, Jose E. Schutt-Aine, “Development of a wide-tuning range two-parallel-plate tunable capacitor for integrated wireless communication systems”, Int. J. RF Microwave Computed Aided Eng., Vol.11, No. 5, pp. 322-329, Sept. 2001.